SEC-Z700S 系列

新概念壓力不敏感質(zhì)量流量模塊

SEC-Z700S 系列配備了新開(kāi)發(fā)的熱傳感器和壓力不敏感功能，可實(shí)現穩定的流量控制。機載壓力測量降低了氣體輸送系統的成本、尺寸和復雜性。

新的高性能功能提供了簡(jiǎn)化的供氣系統。典型的多室氣體管路具有管路調節器、壓力傳感器和過(guò)濾器，以避免由壓力波動(dòng)引起的質(zhì)量流量控制器串擾現象。

SEC-Z700S 系列具有高穩定性，可在不影響上游和下游壓力波動(dòng)的情況下控制氣體流量。提供流量輸出、溫度和壓力讀數。

基本功能

• 多氣體/多量程功能。氣體類(lèi)型和滿(mǎn)量程流量可由客戶(hù)更改
• 穩定控制氣體流量，不受上游和下游壓力波動(dòng)的影響
• 板載多顯示器
• 超潔凈設計 - 金屬隔膜、全不銹鋼 SUS-316L 和拋光表面處理（標準）
• 尺寸緊湊 接頭尺寸相同，最大 50 SLM
• 信號兼容性：EtherCAT、DeviceNet 模型

主要特點(diǎn)

• 保修 1% 設定點(diǎn)高精度（流量 ≥5%）
• 高重復性 （≤±0.15% 設定點(diǎn)/流速 ≥5%）
• 寬范圍控制（0.5-100% 滿(mǎn)量程）
• 可調響應 （300ms≦t≦1000ms）
• 高工作溫度 （15-60°C）
• 低閥座泄漏性能 （≤0.1% 滿(mǎn)量程/Bin#01-#06）
• 高耐腐蝕性設計